软光刻技术

软光刻技术 soft lithography

作为一种新型的微图形复制技术，软光刻技术采用弹性模替代传统光刻技术中使用的硬模来产生微形状和微结构。
近年来，生物学家开始寻找其它技术，并且聚焦到了一种称为soft lithography（软光刻技术）上，这种技术能生物样品模式传递到芯片上，类似于文艺复兴时期艺术家们版画复制雕版，将图像转移到纸上。
哈佛大学研究团队制造软体机器人使用的便是软光刻技术。软光刻技术是以柔软聚合物模具为载体，这是一个相对比较简单的制造过程。其生产过程是:借助电子元件让光照射模具的表面，致使覆盖在图案上一层薄薄的高分子膜曝光，以此溶解没有图案的区域。研究人员称，可以使用平整的表面进行投射或输出，也可以封住凹面以形成通道。通过微流体技术作用于通道，在注入空气后便可产生运动。
软光刻技术是一个非常成功的技术，它具有很高的分辨率，相当小巧，但在批量化生产之前成本比较昂贵。