几种新兴的纳米加工技术

几种新兴的纳米加工技术 several emerging nanofabrication Technology

1.利用扫描隧道显微镜和原子力显微镜的纳米加工技术
2.化学合成方法
化学合成方法是制备纳米尺度电子学器件的另一种途径--用化学过程"自下而上"地把微观体系的物质单元组装成纳米器件。由于用纳米探针进行机械合成很难同时组装数目巨大的纳米结构和器件，所以研究化学合成方法非常重要。
3.聚焦离子束技术
聚焦离子束(FIB)技术是在电场和磁场的作用下，将离子束聚焦到亚微米甚至纳米量级，通过偏转系统及加速系统控制离子束，实现微细图形的检测分析和纳米结构的无掩模加工。
4.准分子激光直写纳米加工技术
准分子激光(excimer laser)以其高分辨率、光子能量大、冷加工、"直写"特点、无环境污染以及对加工材料广泛的适应性，使其成为一种重要的MEMs和纳米加工技术。
5.纳米压印技术
于20世纪90年代中叶诞生的纳米压印(naIloimprim limography，NIL)技术，最近被国外称为"将改变世界的十大新兴技术"之一。NIL技术的概念可说是源自于我们日常生活中盖印章的行为，此动作可将原来在印章上的图形压印到另外一件物体表面上。