28nm工艺制程——现阶段关键工艺节点

28nm工艺制程——现阶段关键工艺节点 28nm，key technology node

根据ITRS路线图的演进，45纳米的下一代工艺节点是32纳米，然后是22纳米。不过，因为当工艺进步到32纳米时，使用基本相同的光刻设备便可以延伸至28纳米，密度更高、晶体管的速度提升了约50%，但成本基本相同，与20/22纳米相比，28纳米具有1.5-2倍的成本优势。因此，综合技术和成本等各方面因素，28纳米都将成为未来很长一段时间内的关键工艺节点。